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中科新松百级洁净室--助力半导体线边物流机器人产品快速优化迭代
2022-07-29
半导体器件的生产对生产环境要求很严,涉及数百个制造工序,对生产环境,如温度、湿度,洁净度都有严格要求。半导体器件,尤其是高密度的集成电路,易受到各种污染的损害。半导体器件对污染的敏感度取决于较小的特征图形的尺寸和晶片表面沉积层的
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